Sau khi ánh sáng đi vào bộ tách chùm, ánh sáng thông thường có thể được chia thành ba loại sau theo bước sóng:
Gần UV (gần UV): 200-380nm
Chân không UV< vuv=""> : 10-200nm
Cực tím cực tím, cực tím cực (ExtremeUV 〈EUV〉): 1-10nm
Sau khi ánh sáng đi vào bộ tách chùm, ánh sáng thông thường có thể được chia thành ba loại sau theo bước sóng:
Gần UV (gần UV): 200-380nm
Chân không UV< vuv=""> : 10-200nm
Cực tím cực tím, cực tím cực (ExtremeUV 〈EUV〉): 1-10nm